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仪器型号：牛津Nordly max3 ；FEI Nova NANOSEM
测试周期：3-7个工作日
电子背散射衍射
电子背散射衍射，简称EBSD，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。EBSD是可以做快速而准确的晶体取向测量的强有力的分析工具。主要应用是取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。
1. 制样要求
测试样品要导电，镶嵌的样品可以通过导电胶连接基座来处理，不导电的试样需要喷金或喷碳；测试前需要进行抛光处理。
2. 样品要求
试样尺寸大小不得超过直径25mm，厚度不得超过10mm。最优：长宽在7×7mm到10×10mm之间，厚度不宜过厚，一般在1-3mm间。过大的尺寸会使得样品距离探头较远以及WD较高，导致解析率降低，也会大大增加EBSD处理时"飘"的概率。
3. 其它要求
1) 标记好测试面，如果是需要特定位置测试也需要做好标记，但是一定注意不要污染待测区域，送样是尽量用容器固定好；
2) 本项目对材料要求较高，复杂样品处理费用可能高一些，因此下单前可与工作人员联系沟通相关事宜。
常见的制样方法主要有机械抛光、电解抛光、离子减薄等。 其中机械抛光的适用范围广、抛光效率高，但样品表面容易产生应力及机械损伤；电解抛光需要根据不同的材料选择不同的抛光液，且抛光参数需要经过大量实验摸索，一般只适用于导电性好的材料。部分多相合金由于不同相电解速率不同，并不适合电解抛光；离子减薄一般使用惰性气体高能离子束对样品表面轰击，从而得到较为平整的微观表面，该方法适用大多数材料，且抛光效果较好。
金属样品硬度大的一般选择机械抛光+化学侵蚀，质软的或者是纯金属一般选择机械抛光+电解抛光，金属基复合材料需要依照实际情况而定，通常选用振动抛光，陶瓷样品一般可选择机械抛光或者氩离子抛光。
固体样品，样品直径小于30mm，厚度小于10mm。
测试前需要确认的重要信息：空间群、晶胞参数、原子占位、晶体结构以及物相信息、样品是否导电以及测试面。
可能是由于在制备样品时，电解抛光后样品有一些肉眼看不到的污染，如氧化物之类的。
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