辉光放电光谱/质谱（GD-OES/MS）

辉光放电光谱仪属于发射光谱分析仪器，和其它发射光谱仪相比基本工作原理大致相同，就是对一种光源加以利用使被测样品元素处于受激状态,样品元素外层电子由高能态向着低能态返回时，特征光谱被发射出。通过素发射出的特征光谱将样品中含有的元素分析出来。可以分析随时间变化的辉光放电强度信息和随深度变化的元素含量信息。

而辉光放电质谱仪是将辉光放电源当做离子源并且和质谱仪器联接行质谱测定的分析方法。可以对材料中的元素含量进行定量分析。